1.การวางตำแหน่งทางเทคนิคและคุณค่าหลักของโลหะผสมที่มีความแม่นยำในการขยายตัวคงที่ของเหล็ก-นิกเกิล

โลหะผสมที่มีความแม่นยำในการขยายตัวคงที่ของเหล็ก-นิกเกิลเป็นวัสดุโลหะชนิดพิเศษที่ได้รับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนเฉพาะ (CTE) ผ่านการออกแบบองค์ประกอบคุณค่าหลักของมันคือการแก้ปัญหาความไม่ตรงกันของมิติที่เกิดจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิในด้านเครื่องมือที่มีความแม่นยำอุปกรณ์ออปติคอลและบรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ยกตัวอย่างโลหะผสมที่ใช้ Fe-Ni ช่วงของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวโดยทั่วไปคือ (1.0 ~ 12.0)× 10 ⁻ ⁶/℃ สามารถปรับเนื้อหา Ni ได้ (30% ~ 50%) และเพิ่ม Co, Mn และองค์ประกอบอื่นๆเพื่อให้เกิดการควบคุมที่แม่นยำด้วยการใช้แบบจำลองการเพิ่มประสิทธิภาพองค์ประกอบที่พัฒนาขึ้นเอง Qingchuan New Materials (Zhengzhou) Co., Ltd. สามารถบรรลุช่วงความผันผวนของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัว ≤ ± 0.5 × 10 ⁻ ⁶/℃ ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุปกรณ์เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์แม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำสูงและสถานการณ์อื่นๆ

2.การวิเคราะห์รูปแบบทางเทคนิคและกำลังการผลิตของ Qingchuan New Materials

Qingchuan New Materials ตั้งอยู่ในเขตพัฒนาอุตสาหกรรมไฮเทคเจิ้งโจวโดยมีการประชุมเชิงปฏิบัติการมาตรฐานที่ทันสมัยและสายการผลิตโลหะผสมพิเศษอุปกรณ์หลักประกอบด้วย: 1) เตาหลอมเหนี่ยวนำสูญญากาศ (ความจุสูงสุด500kg ระดับสูญญากาศ ≤ 1 × 10 ⁻ ³ Pa) ซึ่งสามารถหลอมวัตถุดิบที่มีความบริสุทธิ์สูงได้อย่างสม่ำเสมอ2) หน่วยรีดเย็นแบบหลายม้วน (ความหนาของการรีดขั้นต่ำ0.02มม., ความแม่นยำของแผ่น ± 5μm) เพื่อตอบสนองความต้องการในการผลิตของแถบบางที่มีความแม่นยำ3) เตาหลอมอย่างต่อเนื่อง (ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ± 3 ℃ ความแม่นยำในการควบคุมบรรยากาศ ± 0.5% O₂) เพื่อให้แน่ใจว่าโครงสร้างโลหะผสมมีเสถียรภาพบริษัทติดตั้งเครื่องวิเคราะห์องค์ประกอบ ICP-OES เครื่องวัดความร้อนด้วยเลเซอร์และอุปกรณ์ทดสอบอื่นๆซึ่งสามารถควบคุมคุณภาพแบบเต็มกระบวนการตั้งแต่วัตถุดิบจนถึงผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปผลิตภัณฑ์เป็นไปตามมาตรฐาน ASTM B753, GB/T 15018

3.กรณีการใช้งานทั่วไป: การพัฒนาอุปกรณ์เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเอง

ในโครงการผลิตเวเฟอร์ขนาด12นิ้วลูกค้าต้องการวัสดุยานพาหนะที่อุณหภูมิ-40 ℃ ~ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวในช่วงอุณหภูมิ150 ℃ และระดับการจับคู่ของ monocrystalline silicon (2.6 × 10 ⁻/℃) คือ ≥ 95% ทีมเทคนิคของ Jinchuan ประสบความสำเร็จทางเทคโนโลยีผ่านขั้นตอนต่อไปนี้: 1) การออกแบบส่วนผสม: ใช้สูตร Fe-36Ni-0.3Co และใช้ซอฟต์แวร์ Thermo-Calc เพื่อจำลองจุดเปลี่ยนเฟสเพื่อให้แน่ใจว่าโลหะผสมเป็นโครงสร้างออสเทนไนต์เดียวในช่วงอุณหภูมิบริการ2) การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ: ใช้กระบวนการอบอ่อนสามขั้นตอน (650 ℃ × 4h → 780 ℃ × 2h → 500 ℃ × 6h) เพื่อควบคุมความเค้นตกค้างที่ ≤ 15MPa 3) การตัดเฉือนที่แม่นยำ: ผ่านศูนย์เครื่องจักรกลเชื่อมโยงห้าแกนเพื่อให้ได้ความความคลาดเคลื่อนของรูปร่างและตำแหน่ง ≤ ± 3μm ความหยาบผิว Ra≤ 0.2μm ผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายได้รับการตรวจสอบโดยลูกค้าและข้อผิดพลาดในการกำหนดตำแหน่งการส่งเวเฟอร์คือ ≤ 0.01มม. และอายุการใช้งานมากกว่า500,000ครั้งซึ่งสูงกว่าโซลูชันอลูมิเนียมอัลลอยด์แบบเดิม3เท่า

4. พารามิเตอร์ทางเทคนิคและคู่มือการเลือกแบบ

Qingchuan New Material สามารถจัดหาผลิตภัณฑ์โลหะผสมเหล็ก-นิกเกิลที่ขยายตัวคงที่ตามข้อกำหนดต่อไปนี้: 1) ช่วงความหนา: 0.02mm ~ 10mm;2) ช่วงความกว้าง: 10mm ~ 600มม.; 3) ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวโดยทั่วไป: 2.3 × 10 ⁻/℃(Fe-36Ni), 4.7 × 10 ⁻/℃(Fe-42Ni), 9.8 × 10 ⁻ ⁶/℃(Fe-50Ni);4) สถานะพื้นผิว: 2B, BA, No.4, กระจก8K; 5) รูปแบบการจัดส่ง: ขดลวดแผ่นชิ้นส่วนรูปทรงพิเศษเมื่อเลือกรุ่นควรให้ความสำคัญกับ: 1) ความเข้ากันได้ของช่วงอุณหภูมิบริการและจุดเปลี่ยนเฟสโลหะผสม2) ความเข้ากันได้ของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวและชิ้นส่วนที่ตรงกัน3) อิทธิพลของเทคโนโลยีการประมวลผลที่มีต่อความเสถียรของเนื้อเยื่อทีมสนับสนุนด้านเทคนิคของบริษัทสามารถให้บริการแบบครบวงจรตั้งแต่การเลือกวัสดุไปจนถึงการตรวจสอบกระบวนการ